Ophir® entwickelt Sensor zur Leistungsmessung bis 200W

Exakte Messung der Laserleistung von industriellen Kurz- und Ultrakurzpulslasern mit hoher Wiederholrate

Darmstadt, 10.3.22 – MKS Instruments stellt mit dem Ophir F150(200)A-CM-16 einen weiteren thermischen Sensor vor, um die Leistung von Kurzpulslasern und Ultrakurzpulslasern mit hoher Wiederholrate zu messen. Die Laser im Bereich von Nano-, Pico- oder Femtosekunden werden häufig in der Mikromaterialbearbeitung eingesetzt. Laser mit einer sehr hohen Wiederholrate führen bei klassischen Sensorbeschichtungen schon bei niedrigeren Leistungsdichten zu Beschädigungen. Der kompakte, kalibrierte und lüftergekühlte F150(200)A-CM-16 Sensor hält einer durchschnittlichen Leistung bis 150W stand und misst intermittierende Leistung bis 200W. Damit eignet sich der Sensor ideal für die Mikromaterialbearbeitung sowie Anwendungen in der Halbleiter-, Solarzellen und Displayfertigung oder der Medizintechnik.

“Die Ausgangsleistung von Ultrakurzpulslasern mit hoher Wiederholrate – wie sie insbesondere in der Mikromaterialbearbeitung angewendet werden – steigt kontinuierlich. Wir beobachten diese Entwicklung selbst in herausfordernden Nischen wie den UV-Lasern im Pico- und Femtosekundenbereich”, erklärt Reuven Silverman, General Manager Ophir Photonics. “Mit dem neuen F150(200)A-CM-16 Laserleistungssensor lassen sich selbst Leistungen bis 200W mit hoher Empfindlichkeit messen. Das bedeutet, dass der Sensor auch sehr geringe Änderungen der Laserleistungen registriert – genau diese Fähigkeit ist bei der präzisen Überwachung von Lasern in der Mikromaterialbearbeitung essenziell.”

Der F150(200)A-CM-16 erweitert die Produktfamilie der Sensoren, die gezielt für die Mikromaterialbearbeitung entwickelt wurden, darunter die Sensoren F80(120)A-CM-17 oder 30(150)A-SV-17. Der F150(200)A-CM-16 hält bei hohen Wiederholraten höheren Leistungsdichten bei stand als Sensoren mit konventionellen Beschichtungen. Der neue Sensor arbeitet mit industriellen Lasern mit Wellenlängen zwischen 248 nm und 9,4 µm. Er misst Leistungen von 100 mW bis 150 W kontinuierlich (bis 200 W intermittierend). Der Sensor ist lüftergekühlt und verfügt über eine 16 mm Apertur. Er nutzt einen einzigartigen Absorber, der sich auch bei sehr kurzen Pulsen und hohen Leistungsdichten von bis zu 35 kW/cm2 bei 150 W nicht abnutzt. Die spezielle Beschichtung des F150(200)A-CM-16 Sensors ermöglicht genaue Messungen und hält auch den höheren Leistungsdichten gepulster Laser mit hoher Repetitionsrate stand, beispielsweise 35kW/cm² @20W, 355nm ns Pulsen und 7kW/cm² @23W, 355nm ps Pulsen.