MKS stellt neuen Ophir Sensor zur Leistungsmessung vor
MKS Instruments begegnet den Herausforderungen bei der Messung von Kurzpulslasern und Ultrakurzpulslasern in der Mikrobearbeitung mit einem neuen thermischen Laserleistungssensor. Der jetzt vorgestellte Sensor Ophir® F80(120)A-CM-17 misst die Leistung von Lasern mit einer Pulsdauer im Bereich von Nano-, Pico- und Femtosekunden und hohen Wiederholraten. Laser mit einer sehr hohen Wiederholrate führen bei klassischen Sensorbeschichtungen schon bei niedrigeren Leistungsdichten zu Beschädigungen. Der kompakte, kalibrierte und lüftergekühlte F80(120)A-CM-17 Sensor hält hohen Leistungsdichten stand und misst eine durchschnittliche Leistung bis 80 Watt sowie intermittierende Leistung bis 120 Watt. Damit eignet sich der Sensor ideal für die Mikromaterialbearbeitung sowie Anwendungen in der Halbleiter- und Displayfertigung oder der Medizintechnik.
Der F80(120)A-CM-17 Laserleistungssensor arbeitet mit industriellen Lasern mit Wellenlängen zwischen 248 nm und 9,4 µm. Er misst Leistungen von 100 mW bis 80 W kontinuierlich (bis 120 W intermittierend). Der Sensor ist lüftergekühlt und verfügt über eine
- 7,5 mm Apertur. Der Laserleistungssensor nutzt einen einzigartigen Absorber, der sich auch bei sehr kurzen Pulsen und hohen Leistungsdichten von bis zu 7 kW/cm2 bei 80 W nicht abnutzt. “Die Mikromaterialbearbeitung erfordert eine nahezu perfekte Strahlqualität. Sie hängt damit sehr stark von Lasern mit kürzeren Wellenlängen, kürzeren Pulsen und hohen Wiederholraten ab”, erläutert Reuven Silverman, General Manager Ophir Photonics. “Um schnell und präzise die gewünschte Funktionalität zu erzielen, erfordert es gerade bei Lasern im Nanosekundenbereich mit hoher Wiederholrate eine engmaschige Prüfung der Laserleistung.” Die spezielle Beschichtung des F80(120)A-CM-17 Laserleistungssensors ermöglicht genaue Messungen und hält auch den höheren Leistungsdichten gepulster Laser mit hoher Repetitionsrate stand.
